クリーンルームが設計初期の性能を満たしているかどうかを見るために、風速、風量、気流、温度湿度、塵埃測定を行います。
温度、湿度測定 | 温度、湿度の状況を測定します |
風量・風速 |
各給気口から規定風量が出ているかを測定します。 |
気流 | 気流可視化装置で気流を測定します。 |
差圧測定 |
各室間差圧が正常に取れているかを測定します。 |
風量・風速 |
パーティクルカウンターにより施設の空気清浄度評価を行います。 |
風量・風速 | 環境照度、騒音、リーク試験などリーク試験は、ポリアルファオレフィン(PAO)を用いて行います。 |
メーカー | 温度、湿度の状況を測定します |
日本カノマックス | 温湿度計 風速計 |
セコニック | 温湿度計 |
リオン | パーティクルカウンター |
ハック社 | パーティクルカウンター |
PMS社 | パーティクルカウンター |
日本エアーテック | 気流可視化装置 |