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環境検査(塵埃・温湿度・風速・風量・差圧)

環境検査(塵埃・温湿度・風速・風量・差圧)

クリーンルームが設計初期の性能を満たしているかどうかを見るために、風速、風量、気流、温度湿度、塵埃測定を行います。

温度、湿度測定 温度、湿度の状況を測定します
風量・風速
各給気口から規定風量が出ているかを測定します。
気流 気流可視化装置で気流を測定します。
差圧測定
各室間差圧が正常に取れているかを測定します。
風量・風速
パーティクルカウンターにより施設の空気清浄度評価を行います。
風量・風速 環境照度、騒音、リーク試験などリーク試験は、ポリアルファオレフィン(PAO)を用いて行います。
【 当社使用装置一覧 】
下記の装置は、当社が使用する装置の一例です。
メーカー 温度、湿度の状況を測定します
日本カノマックス 温湿度計 風速計
セコニック 温湿度計
リオン パーティクルカウンター
ハック社 パーティクルカウンター
PMS社 パーティクルカウンター
日本エアーテック 気流可視化装置
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